第57章 擴散洩露

“你們在幹什麼？前幾天我給你們講的東西，我看你們現在也沒理解到位。咋那麼惱火？還在這摸魚。”黃兵一回到工序，就看見兩個新人在那裡坐著玩手機，人事部那邊還說是本科畢業過來的，看起來一個兩個就像腦子不靈光一樣。

“黃工”

“你幾個都過來，我挨著把我們這三個工序再給你們過一下。看到這，後氧化，我倒起給你們講，將就大家都在這邊，矽片表面被鐳射SE處理過的地方，硼擴散表面（入光面）的氧化層被鐳射的光斑能量破壞了。在鹼拋光刻蝕的時候，需要有一層氧化層作為掩膜層來保護矽片的磷擴散表面（入光面）。因此，需要對鐳射SE掃描過的表面進行氧化層修復。整個氧化過程在氧化爐中進行，氧化爐為密閉常壓裝置，透過電加熱。首先使用自動裝片機將矽片裝載到石英舟上，隨後自動機械手將石英舟放置在氧化爐的碳化矽懸臂漿上，碳化矽漿將裝載有矽片的石英舟送入高溫石英爐管裡面。石英舟進入爐管之後關好爐門，啟動氧化程式，氧化爐自動執行。然後我們在操作過程中，一定要等爐管出了爐口再去取片，哪怕在爐裡面燃起來了，那都是裝置的事情，你不要自己跑去處理了。然後看到這個螢幕上面，有每個爐管的工藝時間以及工藝效果，有些失敗了，都會直接顯示在這上面。然後我們的引數氧化溫度750℃，氮氣流量12L/min，氧氣流量5L/min，25min氧化時間。該過程會產生含氧氣、氮氣的氧化廢氣（熱風），透過氧化爐排氣口排出，然後透過車間頂熱排風系統排放。曉得是咋反應的不？高材生些。”

“這個知道，Si+O2=SiO2，O2在高溫下與矽片表面反應生成SiO2，通入一定量的氮氣維持爐管壓力恆定。維持一段時間的高溫通氧，使矽片表面形成一定厚度的SiO2薄層。就是這樣形成的，是不是黃工？”

“果然是化工專業高材生，走，去se，再給你們說一下，鐳射摻雜技術是在金屬柵線（電極）與矽片接觸部分進行重摻雜，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。

透過熱擴散方式，在矽片表面進行預擴散，形成輕摻雜；同時表面BSG（硼矽玻璃）作為區域性鐳射重摻雜源，透過鐳射區域性熱效應，BSG中原子二次快速擴散至矽片內部，形成區域性重摻雜區。SE鐳射過程會產生含塵廢氣（G3），經過裝置自帶的除塵器處理後透過車間頂排風系統排放。

來，看下料這個片子，仔細點，看到這個柵線沒有？這就是se工藝過的，上面有柵線，然後看到這個位置，有根短線，對應著的180度對角也有一根長線，這就是我們的se暗標，根據幾條線的情況就可以推到我們的片源是那臺機出來的，這邊後道工序都會用我們這個操作。然後會找問題找上來，你們不要問到的時候一問三不知。走，下一個工序。”

“看到，這是我們擴散的重頭戲，硼擴散，擴散的目的是在矽片上形成PN接面，以實現光能向電能的轉化。PN接面制造裝置為擴散爐，專案採用氣態三氯化硼在擴散爐內對矽晶片進行擴散，硼原子透過擴散進入矽片，同時在矽片表面形成一層硼矽玻璃層。擴散爐為密閉負壓裝置，配有進氣口和出氣口，採用電加熱，裝置自帶無油乾式機械真空泵。

具體工藝過程為：先通入大流量的N2以驅趕擴散爐石英管中的空氣，並對擴散爐進行升溫，待爐溫升至1050℃並且恆定後，把晶片放入石英舟內，送到爐口進行預熱20分鐘，再推入恆溫區中，先通入氧氣，再通入三氯化硼進行擴散，整體工藝時間為180分鐘。反應過程中Si和O2均過量，BCl3完全反應，反應中產生C12。

反應完成後使用N2清空裝置，並自動出料。一般我們的實驗就是從擴散開始的，大多數時候是關於我們的爐管引數實驗，以及工藝時間對比實驗。

楊子豪就喜歡做實驗，三個工序做一個班次，好耍又安逸。二天你們可以跟他學習一下，我都是線上上處理異常，看哈異常片，測方阻，看測試反饋過來的片子。還有個問題，現在我們擴散還在開線，有很多異常千萬要注意。

擴散車間是一個非常特殊的車間，反應條件嚴苛，工藝人員不可能觀察得到，問題排查基本只能靠計算機控制系統的監控資料，而監控資料一般較煩雜，通常排查週期較長，所以一般出現問題都是大批次的，空氣溫度、排風壓力、氣體流量的輕微波動都有可能造成生產的電池片方阻較大的異常，對工藝人員排查問題的能力要求較高。

為了節約成本，擴散多采用高密度背靠背式擴散，對機械臂精度要求較高，且碎片率相比於其他工序較高。由於擴散工藝執行時間較長，一般一個小時左右，對於留存量的把控較難，長時間留存的電池片受空氣汙染，效率大打折扣。

最關鍵的問題來了磷源安全。三氯氧磷屬於劇毒物，磷源一般有專門密閉儲藏室，且擴散車間一般與其他車間分離，做簡單密閉處理，車間內設定有磷源洩露檢測裝置，如果擴散出現報警，臥槽，說什麼來什麼，報警了，快跑，馬上跑。”

正說著，黃兵就聽見報警器響了，以最快的速度衝，“王潤剛，王潤剛，王潤剛，快跑快跑，氯氣洩露。”

王潤剛自然是知道這個東西的厲害，趕緊丟下自己手中的矽片，火速跟隨著黃兵的腳步往外跑。

車間裡面其他工序的人看到烏泱泱的人群跑出來了，都是比較懵逼的，只知道跟隨著大家的腳步一起跑。

“清洗的兄弟，保命，撤退。”王潤剛一邊走一邊在群裡面發訊息。跑出車間以後又衝到廠區外面兩三公里的地方看什麼情況。

“他們怎麼沒跑了？黃兵，我們還是比較惜命，跑得最快。”

“那肯定啊，老子上輩子就稀裡糊塗的沒了，這輩子可不想被毒死了。呼呼呼，累死我了。缺乏鍛鍊缺乏鍛鍊，哎呀。”黃兵說著就坐到了旁邊的草地上。車間裡面的人大概在二十分鐘以後才全部撤離到車間門口來。

“各工序，清點人數，看是否有人員遺漏。”

“裝置部全員撤離”

“工藝部全員撤離，但是少了兩個，說是出了了不知道去哪裡了。”

“動力部全員撤離”

“生產部全員撤離”

“行政部全員撤離”

“輸送部全員撤離”

“後勤部全員撤離”

“好，首先大家不要驚慌，這只是我們對於擴散氯氣洩露的一個演練，其次，大家的撤離時間，在座的各位現在都已經去世了，工藝部那兩個人去哪裡了？馬上聯絡。聽到剛剛那個特殊的報警聲音第一時間應該尋找附近防護面具戴上，然後火速撤離，越遠越好······”

“他們集合了，我們過去不？好像沒什麼事情了，不會是演練吧我去。”

“走，我們去看看。”王潤剛撐起彎下的腰，往來時路走去。

“我們畢竟是一個化工車間······”總監在車間門口拿著大喇叭繼續吼。

“工藝部黃兵，王潤剛回來了。”

“你兩個跑哪兒去了？趁此機會就想溜了 啊？”

“不是啊，梁總，氯氣洩露啊，跑車間門口怎麼行？起碼得跑到廠門口的草地那邊吧。我怎麼知道是演習啊。”

“很好，李部長，工藝部這兩個人這個月獎金一個五百，安全意識到位。大家注意以後遇到這種報警一定要打起精神。雖然我們的外圍和動力部經常都在檢查，但是我們自身也要有安全意識，不能對這個東西完全沒有畏懼感，把自己的安全不放在心上。好，大家回去繼續工作。”

人流逐漸的散去。

“我都不知道啥子是氯氣，我就是個普工”

“是啊那是工藝才曉得的東西，我們測試也不懂啊”

“這個化工廠還不安全哦”

“但是工資高啊，我們兩口子在這一個月一萬五，兩個娃兒讀大學都還有剩，不錯了。”

“惱火”

“走吧，進去幹活了”